雷射功率計

設備簡介

常用到雷射能量計，用來探測重複脈衝雷射的單發能量和單脈衝雷射的能量。Ophir 的熱電堆型雷射功率計通過熱電堆結構將光能轉換成熱量，再轉換為電信號輸出，通過校準來精確測量雷射功率的大小。雷射功率計一般由探頭和顯示設備組成，雷射功率計探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型（thermal）、光電二極體型（PD:Photodiode）、以及包含兩種感測器的綜合探頭（RP），雷射能量計則有熱釋電感測器(PE:Pyroelectric)和熱電堆（Thermal）感測器探頭。

生產企業

典型的生產廠商有加拿大Gentec-EO和以色列Ophir, 其中Ophir功率和能量探頭有一百多種。探頭選擇取決於測量的類型及待測雷射的參數，比如雷射連續or 脈衝？雷射功率or 能量範圍？光束口徑？波長（範圍）。沒有一款探頭能適應所有的雷射測試條件。主要有顯示設備用來顯示測量結果，有不同功能的表頭，或電腦連線器。光電二極體雷射能量感測器的靈敏度較高，能探測的最小能量達到10Pj, 熱釋電雷射能量感測器一般有金屬型和損傷閾值較高的BF型。由於種類較多，一般可以通過廠商提供的篩選選軟體來選擇使用合適的探頭。

		sensor類型	備註	適用範圍
功率感測器	1	熱電堆雷射功率感測器	測功率	1/n·mW~ n·Kw
	1	熱電堆雷射功率感測器	測單脈衝雷射能量()	f≤0.2HZ
	2	熱電堆雷射功率、位置、光斑大小感測器	定中心、光束定位、路徑跟蹤以及功率和單脈衝能量測試
	3	光電二極體雷射功率感測器		1pW--n·100mW--3W(filter)
能量感測器	4	熱釋電雷射能量感測器	耐用性比熱電堆型差，不使用時需移除雷射照射	f≤25KHZ

探頭類型

熱電堆型雷射功率計表面吸收材料種類較多，對應不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾值。典型的有

表面吸收結構探頭：

-BB寬光譜吸收材料，此寬光譜吸收材料的鍍層損傷域值可達20KW/cm；吸收率大約90%，從紫外到紅外的曲線平滑;

-EX (Excimer lasers) 準分子雷射專用吸收材料，對於紫外光有高吸收率，可以承受高能量或高平均功率的準分子雷射，同時對10.6um和其他波長也有很好的回響，-EX最大平均功率強度約2KW/cm。

-LP長脈衝吸收材料，對於豪秒量級長脈衝或是連續波雷射有很高的損傷域值，在1064nm和10.6μm處做過校準，-LP最大平均功率強度約10KW/cm, -LP1最大平均功率強度約20KW/cm。

體吸收結構探頭：

-P短脈衝式吸收材料，套用於短脈衝雷射的探頭，最大平均功率強度50W/cm。對於脈衝雷射，吸收材料表面有大約95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。

-HE/-HE1高能量脈衝雷射吸收材料，-HE最大平均功率強度500W/cm。對於短脈衝/高平均功率雷射都有高的損傷域值。

-HL高能量長脈衝吸收材料，用於脈寬大於2ms的高能量，高平均功率的雷射

-PF/-SV 作為-P探頭的擴展，能承受更高的平均功率和平均功率密度，-PF（3KW/cm），-SV（60KW/cm）。

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