雷射分子束外延RHEED聯合系統

雷射分子束外延RHEED聯合系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2011年7月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射分子束外延RHEED聯合系統
• 產地：荷蘭
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2011年7月6日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

本地真空5x10-8 Pa,工作氧壓≤65Pa。

主要功能

製備高精度氧化物超薄膜。