離心甩膠機spinner固定基片並以可控速率(常為1i300---fiUOflr/min )旋轉的裝置。用以在基片上塗敷極薄的光致抗蝕劑塗層。
離心甩膠機spinner固定基片並以可控速率(常為1i300---fiUOflr/min )旋轉的裝置。用以在基片上塗敷極薄的光致抗蝕劑塗層。 ...
甩膠機,顧名思義,就是利用旋轉產生的離心力原理,將膠液均勻甩開,平鋪到材料表面的一種機械裝置。常見於各類對於材料表面塗覆的均勻性有嚴格要求的實驗或者製造領域...
勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉...
首先、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面,然後以設定的轉速和時間甩膠。由於離心力的作用,光刻膠在基片表面均勻地...
首先、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面,然後以設定的轉速和時間甩膠。由於離心力的作用,光刻膠在基片表面均勻地...