離子注入摻雜

中文名稱	離子注入摻雜
英文名稱	ion implantation doping
定　　義	採用離子注入方式達到摻雜的目的。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），總論（三級學科）

基本介紹

• 中文名：離子注入摻雜
• 外文名：ion implantation doping
• 一級學科：材料科學技術
• 二級學科：半導體材料

• 定　義
• 採用離子注入方式達到摻雜的目的。