《離子推進器用柵極材料的輻照性能研究》是依託清華大學,由李正操擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名:離子推進器用柵極材料的輻照性能研究
- 依託單位:清華大學
- 項目負責人:李正操
- 項目類別:青年科學基金項目
- 批准號:50701026
- 申請代碼:E0103
- 負責人職稱:教授
- 研究期限:2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費:18(萬元)
《離子推進器用柵極材料的輻照性能研究》是依託清華大學,由李正操擔任項目負責人的青年科學基金項目。
《離子推進器用柵極材料的輻照性能研究》是依託清華大學,由李正操擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要在長壽命太空飛行器所用新型離子推進器中,柵極材料的輻照脆化和濺射失效是影響其使用壽命的主要因素,因而如何使柵極材料具有較...
試驗表明,有、無柵極的狀況下,滲氮效果相同。因此,G.Tibbetts認為,對離子滲氮起作用的實質上是中性氮原子,NH2+離子的作用是次要的。 (4)活性氮原子碰撞離析理論 這是我國學者在20世紀80年代提出的,他們認為,活性氮原子在離子滲氮過程中起決定作用。從上述幾種離子化學熱處理機理不難看出,各種結論都是在相對...
抑制柵極 抑制柵極(suppressor grid)是1993年公布的電子學名詞。公布時間 1993年,經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。出處 《電子學名詞》第一版。
《離子推進器用柵極材料的輻照性能研究》是依託清華大學,由李正操擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 在長壽命太空飛行器所用新型離子推進器中,柵極材料的輻照脆化和濺射失效是影響其使用壽命的主要因素,因而如何使柵極材料具有較強的耐輻照性能,是迫切需要解決的一個問題。目前,Mo是主要的柵極材料之一。在前期...
[1] 國家自然科學基金青年科學基金項目,5160021366,CMOS器件用金屬碳化物柵極材料的製備和性能研究,2017/01-2019/12,20萬元,主持人。[2] 新疆維吾爾自治區自然科學基金,2016D01C070,用磁控濺射法製備金屬氧化物半導體器件(CMOS)所用的金屬柵材料,2017/01-2019/12,5萬元,主持人。[3] 新疆大學自然科學基金...
為減弱柵極隧穿電流,其中有一種方案就是採用比Siq介電常數更高的材料作為柵介質。根據最新的2003工TRS,70nm技術時代就需要高k材料,它將主要套用於要求柵極漏電流很小的低功耗器件。高性能器件的套用也需要這些材料,高性能器件要求具有很薄的等效二氧化矽厚度(EOT)。HfO₂是很有套用前景的高k材料,HfO₂的使用...