雙束顯微鏡

雙束顯微鏡是一種用於物理學、機械工程、電子與通信技術領域的分析儀器，於2012年3月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙束顯微鏡
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、機械工程、電子與通信技術
• 啟用日期：2012年3月15日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

電子束：350V - 30kV; 離子束：500V - 30kV。

主要功能

微納加工與表征。