長度計量技術：表面粗糙度測量指的是長度計量技術中對工件加工表面的微觀幾何形狀特性的測量，常用的測量方法有比較法﹑觸針法﹑光切法和干涉法等。
基本介紹
- 中文名：長度計量技術：表面粗糙度測量
- 測量方法：比較法﹑觸針法﹑光切法和干涉法
簡介
比較法 將表面粗糙度比較樣塊(簡稱樣塊 )根據視覺和觸覺與被測表面比較﹐判斷被測表面粗糙度相當於那一數值﹐或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度(見雷射測長技術)。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊﹐表面經磨﹑車﹑鏜﹑銑﹑刨等切削加工﹐電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經過測量並評定合格後作為樣塊。利用樣塊根據視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便﹐但會受到主觀因素影響﹐常不能得出正確的表面粗糙度數值。
觸針法 利用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行﹐金剛石觸針的上下位移量由電學式長度感測器轉換為電信號﹐經放大﹑濾波﹑計算後由顯示儀表指示出表面粗糙度數值﹐也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀表面粗糙度測量儀 ﹐同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀(簡稱輪廓儀，電動輪廓儀 )。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機﹐它能自動計算出輪廓算術平均偏差R ﹐微觀不平度十點高度R ﹐輪廓最大高度R 和其他多種評定參數﹐測量效率高﹐適用於測量R 為0.025～6.3微米的表面粗糙度。
光切法 光線通過狹縫後形成的光帶投射到被測表面上﹐以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度(用光切法測量表面粗糙度 )。由光源射出的光經聚光鏡﹑狹縫﹑物鏡1後﹐以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面﹐形成被測表面的截面輪廓圖形﹐然後通過物鏡 2將此圖形放大後投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數鼓輪先讀出值﹐計算後得到H 值。套用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用於測量R 和R 為0.8～100微米的表面粗糙度﹐需要人工取點﹐測量效率低。
