鋁背場

鋁背場是指在p-n結製備完成後,往往在矽片的背面即背光面,沉積一層鋁膜,製備P+層。

基本介紹

  • 中文名:鋁背場
  • 定義:在p-n結製備完成後,往往在矽片的背面即背光面,沉積一層鋁膜,製備P+層
作用:減少少數載流子在背面複合的機率。也可以作為背面的金屬電極。
製備方法:最簡單的方法是利用濺射等技術在矽片背面沉積一層鋁膜,然後再800~1000℃熱處理,使鋁膜和矽合金化並內擴散,形成一層高鋁濃度摻雜的P+層,構成鋁背場。

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