金屬陶瓷電阻薄膜

金屬陶瓷電阻薄膜是指由金屬和氧化物絕緣體混合所構成的薄膜。

基本介紹

• 中文名：金屬陶瓷電阻薄膜
• 外文名：metallic  ceramic  resistance film
• 學科：材料技術
• 領域：工程技術

簡介

金屬陶瓷電阻薄膜是指由金屬和氧化物絕緣體混合所構成的薄膜。

特點

其主要特點是電阻率高、耐高溫。

材料

主要的材料有：

（1）Cr-SiO薄膜，是一種高阻薄膜，其方阻為500 ~3kΩ/口，電阻溫度係數小於100ppm/ C'。可用蒸發或濺射法製備。蒸發所用原料為高純(99. 99%)鉻粉和SiO粉混合物。反應濺射法所用原料為高純鉻、矽複合靶，反應氣體為高純氧;或用高純鉻靶、SiO靶進行雙靶濺射;

（2）Ti-SiO2薄膜，也是一種電阻溫度係數較小、穩定性高的高阻薄膜。

製備

薄膜採用射頻濺射製備，靶由高純鈦板和SiO2片構成。通過改變鈦和SiO2的面積比，可得到成分不同的Ti-SiO2膜，膜厚為250~300nm。

性能

Ti-SiO2薄膜的性能受靶成分、濺射工藝等因素的影響。金屬陶瓷電阻薄膜用於高、中阻薄膜電阻器。