金屬防腐清洗劑

金屬防腐清洗劑廣泛套用於化學機械拋光、刻蝕、沉積以及其它保護步驟中，該清洗液降低了對後續工藝的干擾，大大降低了金屬材料的表麵點蝕，減低了表面腐蝕程度。從而降低了缺陷，提高了清洗效率和產品優良率，增加了收益率，大大改善了金屬表面的平坦度質量。

1.前言

該清洗液廣泛套用於化學機械拋光、刻蝕、沉積以及其它保護步驟中，該清洗液降低了對後續工藝的干擾，大大降低了金屬材料的表麵點蝕，減低了表面腐蝕程度。從而降低了缺陷，提高了清洗效率和產品優良率，增加了收益率，大大改善了金屬表面的平坦度質量。

2.介紹

2.1基礎配方

將一定分量的各組分（有機羧酸化學添加劑（0~5）、有機膦酸化學添加劑（0~0.5）、有機磺酸化學添加劑（0~1）、胺基酸化學添加劑（0.5~5）、聚合物金屬防腐抑制劑(10~5000mg/L)、含氮雜環化合物（0~1）、載體加至100混合均勻即可。

2.2常見組分及機理

1）絡合劑：一般選用氨基羧化合物及其鹽、有機羧酸及其鹽、有機膦酸及其鹽的一種或多種。有機羧酸為檸檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或馬來酸中的一種或多種混合物；有機膦酸為烷基膦酸、苯基膦酸、1-羥基乙烯基-1,1-二膦酸、亞甲基磷酸、乙烯基二胺-4-亞甲基磷酸、環丁烷基三胺-5亞甲基膦酸或多氨基多醚基四亞甲基膦酸中的一種或多種的組合；有機磺酸為甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸內酯的一種或多種的組合；含氮胺基酸為甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、異亮氨酸、胱胺酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、蘇氨酸、絲氨酸、苯丙氨酸、色氨酸、谷氨酸、天門冬氨酸、賴氨酸、中一種或多種。
2）防腐抑制劑：該清洗液中運用聚合物金屬防腐抑制劑為聚丙烯酸類化合物、丙烯酸類化合物與苯乙烯的共聚化物、丙烯酸類化合物與順丁烯二酸酐的共聚化合物、丙烯酸類化合物與丙烯酸酐類的聚化合物、膦醯基羧酸共聚物、中一種或多種；相對分子量為2000~3000000.其中較好的是相對分子量在5000~30000的聚丙烯酸。

2.3使用工藝

1）壓力1.0~2psi、拋光碟的轉速50~70r/min、拋光頭轉速70~90r/min、拋光液流速200~300ml/min、拋光時間1~2min;
2)然後在壓力1.5psi、拋光碟的轉速25r/min、拋光頭轉速25r/min，使用本清洗液，流速300ml/min、拋光時間0.5~1min;
3)用清洗液及聚乙烯醇滾刷對晶片表面進行刷洗2min,滾刷轉速為300r/min,清洗頭轉速280r/min,清洗劑液流量300 ml/min;
4）再用去離子水及PVA滾刷刷洗2min，滾刷轉速為300r/min，清洗頭轉速280r/min，去離子水流量300ml/min.

3.參考配方

參考配方1

成分	投料比	成分說明
檸檬酸	1~2
苯基膦酸	0~0.5
二甲基磺酸	0~1
甲硫氨酸	0~0.05
聚丙烯酸	100ml
水	加至100

投料比

成分說明

檸檬酸

1~2

苯基膦酸

0~0.5

二甲基磺酸

0~1

甲硫氨酸

0~0.05

聚丙烯酸

100ml

水

加至100

參考配方2

成分	投料比	成分說明
草酸	2~4
丙烯酸甲酯與丙烯醯胺的星型共聚物	2~4	Mn=3000
二丙二醇甲醚	1~3
水	加至100

投料比

成分說明

草酸

2~4

丙烯酸甲酯與丙烯醯胺的星型共聚物

2~4

Mn=3000

二丙二醇甲醚

1~3

水

加至100

4.常見金屬清洗劑

金屬油污清洗劑、鋁材清洗劑、超音波清洗劑、水基清洗劑、無磷清洗劑、發動機清洗劑、汽車清洗劑、電解脫脂劑、無磷脫脂劑、中性脫脂劑、鋁酸脫脂劑、鋼鐵脫脂劑、水性脫脂劑、化學脫脂劑、除油王、常溫除油劑、鹼性除油劑、不鏽鋼除油劑、超音波除油劑、金屬除油劑、酸性除油劑、電解除油粉、高溫除油粉、無磷除油粉、化學除油粉。