遠紫外光感光樹脂

基本介紹

• 中文名：遠紫外光感光樹脂

遠紫外光感光樹脂 指對深紫外光敏感的感光樹脂。深紫外光指波長在25Llnnz左右的光線，能量較高，因此可供選擇的樹脂較多;目前使用較多的是丙烯酸酷衍生物，或者聚礬類樹脂。光的波長較短，作為光刻膠有利於提高解析度。但是對環境和使用的透光材料有較高要求，因此使用的儀器設備複雜昂貴』根據吸收光後發生光降解或光交聯，也可以分成止性和負性深紫外感光樹脂。