丙烯酸酯型感光樹脂

丙烯酸酯型感光樹脂acrylate tylm phatn} r:}phir resin聚丙烯酸酷及其衍生物在深紫外光‘波長:2(}一?40nm ),或者X射線和電子束作川卜發生光解鏈斷裂反應,反應後溶解性能人為增加。所以在光刻工藝和光學製版中常作為正性光刻膠。聚丙烯酸醋的價格低廉,附著和成膜性好,同時由於使用的光波長較短。因此解析度較高_

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