趙書霞

趙書霞

趙書霞,女,畢業於大連理工大學,博士大連理工大學副教授、碩士生導師。

主要從事低溫電漿源和微電子處理工藝的數值模擬研究,模擬方法包括流體模擬、粒子模擬、混合模擬以及整體模擬,先後採用這些方法模擬過氮氣平板和空心陰極直流輝光的放電特性、射頻感性耦合電漿的模式轉換機理、碳氟性電漿的放電特性和刻蝕機理、以及背景氣體輸運和電漿的耦合機制等。完成國家青年自然科學基金一項和企業項目研發橫向契約一項。共發表相關學術論文23篇,其中SCI和EI均收錄的國際刊源文章共18篇,一作文章8篇,本人為通訊作者文章6篇,在參與發表的論文裡都做出了實質性的貢獻。教授本科生必修課程《數學物理方法》和雙語課程《科技文獻閱讀與寫作》,並擔任四名本科生的指導導師。在研碩士生3名,畢業1名。

基本介紹

  • 中文名:趙書霞
  • 畢業院校:大連理工大學
  • 學位/學歷:博士
  • 專業方向電漿物理
  • 任職院校:大連理工大學
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人物經歷

教育經歷

2004.9--2007.6 河北師範大學材料物理與化學碩士
2007.9--2010.6 大連理工大學電漿物理博士
2000.9--2001.6 河北師範大學物理學學士
1997.8--2000.6 河北省臨潭縣中學

工作經歷

2013.1 大連理工大學
2010.8--2012.12 比利時安特衛普大學博士後

學術成果

論文成果

崔文俐,趙書霞.射頻容性耦合放電流體力學仿真模型的多樣性分析[A],第十八屆全國電漿科學技術會議,2017,1
王彥潔,趙書霞.射頻感性耦合的電負性雙原子分子氣體放電的空間特徵形貌[A],第十八屆全國電漿科學技術會議,2017,1
趙書霞,高磊,田宇,王彥潔.複變函數n√z的多值性問題及其教學意義[J],教育教學論壇,2017,52:191-193
Yang, Wei,Zhao, Shu-Xia,Wen, De-Qi,Liu, Wei,Liu, Yong-Xin,Li, Xue-Chun,Wang, You-Nian.F-atom kinetics in SF6/Ar inductively coupled plasmas[J],JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A,2016,34(3)
Wang Xifeng,Song Yuanhong,Zhao Shuxia,Dai Zhongling,Wang Younian.Hybrid Simulation of Duty Cycle Influences on Pulse Modulated RF SiH4/Ar Discharge[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2016,18(4):394-399
Zhao Shu-Xia,Gao Fei,Zhang Yu-Ru,Li Xue-Chun,Wang You-Nian.Discontinuity of mode transition and hysteresis in hydrogen inductively coupled plasma via a fluid model[J],CHINESE PHYSICS B,2015,24(11)

著作成果

Mode Transition and Hysteresis in Inductively Coupled Plasma Sources

科研項目

高密度感應耦合電漿源合作研究, 企事業單位委託科技項目, 2013/01/25-2013/06/30, 完成
射頻感性耦合碳氟性電漿的放電機理和基片偏壓效應的研究, 主管部門科技項目, 2013/10/28, 進行
碳氟性電漿的放電機理和刻蝕過程的研究, 國家自然科學基金項目, 2013/09/25-2016/12/31, 完成
大功率低壓射頻感性耦合負氫離子源的物理基礎研究, 國家科技部 , 2014/12/31, 進行

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