超高分辨多束離子顯微鏡

超高分辨多束離子顯微鏡是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2017年12月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高分辨多束離子顯微鏡
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2017年12月22日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

He離子束系統：解析度：0.5 nm；加速電壓： 10KV-30 kV；離子束流：0.1 pA 至100pn；加工線寬：≤ 10nm；Ne離子束系統：解析度：1.9 nm；加速電： 10KV-25 kV；離子束流：0.1 pA 至 50pA；加工線寬：10-30 nm；Ga離子束系統：解析度：3 nm@30kV,1pA；加速電壓： 1KV-30 kV；離子束流：1 pA 至 100nA；加工線寬：30 nm。

主要功能

He,Ne,Ga離子束的加工及成像。