超精密運動控制系統

超精密運動控制系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2014年11月4日啟用。

基本介紹

• 中文名：超精密運動控制系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年11月4日

技術指標

1、運動軸數量：兩個(X軸和Y軸)； 2、最大運動速度：800mm/s; 3、額定勻速運動速度：600mm/s; 4、最大加速度：20m/s2; 5、運動台有效行程:300mm; 6、重複定位精度:5um； 7、平台系統XY平面與水平面重合，平面內的運動平面度在±5um以內; 8、運動平台額定負載0-5kg； 9、可以為高速相機聰底部拍攝運動平台上部工作面的流場提供視場； 10、平台變速換向運動平穩，能夠模擬光刻機的掃描和步進運動軌跡。

主要功能

模擬光刻機掃描運動和步進運動的工作平台。