穆海華

穆海華，博士，畢業於華中科技大學，清華大學精密儀器與機械學系助理研究員。

基本介紹

• 中文名：穆海華
• 學位/學歷：博士
• 職業：教師
• 專業方向：IC裝備—光刻機工件台系統超精密運動控制及參數校準、數控技術
• 任職院校：清華大學

個人經歷

教育背景

2003.9—2007.6 華中科技大學機械電子工程 獲博士學位

2000.9—2003.7 華中科技大學機械電子工程 獲碩士學位

1996.9—2000.7 華中理工大學機械工程及自動化 獲學士學位

工作履歷

2007.12—2010.10 華中科技大學計算機科學與技術學院從事博士後研究工作

研究方向

IC裝備—光刻機工件台系統超精密運動控制及參數校準、數控技術

學術成果

自2003年以來，一直從事IC裝備—光刻機超精密工件台的超精密控制、參數校準及其嵌入式軟體系統的研究開發。研究對象工件台具有多剛體、多變

量、非線性和複雜耦合的空間運動特整，要求在高加速度、高速度、大行程條件下實現納米級的超精密極限運動精度。針對以上問題，研究提出了對稱點

對點運動軌跡的統一模型及算法，並解決了其中高階運動軌跡實際套用的實時性問題；研究了運動過程中的複雜耦合機理，提出預見前饋解耦控制方法，

以及矽片台和掩模台兩微動台中的運動耦合機理，建立了耦合動力學模型並提出解耦控制方法；通過探討耦合擾動對反饋控制輸出的變化規律，提出了基

於反饋輸出的疊代學習控制參數校準方法；此外研究設計了工件台控制軟體系統結構、任務調度機制及通信機制，並研發實現了基於DSP的運動控制軟

件系統。以上研究已獲得了實際光刻機的套用，實現工件台的高速、大行程、納米級的超高運動控制精度，達到100nm步進掃描光刻機工件台的設計指標。

近5年在國內外重要期刊上發表學術論文14篇，其中SCI、EI同時檢索1篇，EI檢索8篇。