設計手冊

設計手冊是為設計者準備的參考書，每一個技術節點的一類器件都有一個設計手冊。

基本介紹

• 中文名：設計手冊
• 外文名：Design Manual

設計手冊雖然是為設計者準備的參考書，但是有些內容對於光刻工程師，特別是“layer owner”，非常有用。這些內容包括：

（1） 器件的整個結構；

（2） 製造流程中所有光刻層的名字、功能及最小線寬要求；

（3） 光刻層之間對準的順序；

（4） 針對不同功能的器件，哪些光刻層可以省略；

（5） 在BEOL部分，哪些光刻層是在超低介電常數材料上，哪些光刻層是在低介電常數上，以及每一種介

電層的厚度；

（6） 每一個光刻層的設計規則。