設備供應計畫審計是對建設單位設備供應計畫的正確性和合理性所進行的審計。其目的在於檢查建設單位所訂購的各種設備是否符合經批准的設計檔案和基本建設計畫的規定。審計時，一般要 “三查”、“三看”。所謂“三查”，就是說一查買什麼，二查買多少，三查何時買。為了判斷、分析設備供應計畫內容的正確性和合理性，在“三查”基礎上，還要“三看”。
所謂“三看”，就是一看設計，檢查設備供應計畫所列設備名稱、規格、數量是否與批准的設計檔案內容相符，既不能多買，也不能少買，更不能亂買，如發現有不正常情況，應即糾正，以免發生失誤; 二看庫存，查看需要購買的設備是否已有庫存，防止重複採購; 三看施工進度，即檢查購入設備的時間，是否與工程進度相適應，避免過早購進設備，積壓建設資金。對設備供應計畫的審計，一般應由內部審計機構來承擔，以便進行事前審計，及時發現問題，及時調整計畫，避免造成損失。
