計算機控制掃描電子顯微鏡

計算機控制掃描電子顯微鏡是一種用於能源科學技術、化學工程領域的分析儀器，於2014年10月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：計算機控制掃描電子顯微鏡
• 產地：英國
• 學科領域：能源科學技術、化學工程
• 啟用日期：2014年10月31日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

二次電子解析度不差於3.0nm @30kV、8.0nm @3kV和 15nm (1kV)背散射電子分0.3-30kV；放大倍數範圍：5X－300,000X。樣品室內最高真空度：優於3x10-4Pa，低真空壓力範圍：10Pa到270Pa。圖像掃描：最大3072×2304像素 。能譜儀元素分析範圍Be4—U92，能量解析度(Mn-Ka)：優於129eV，嚴格依照ISO15632國際標準測量。

主要功能

EVO MA 10是一台通用的高性能鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有全自動控制的分子泵+旋轉泵的真空系統、自動透鏡控制功能的電子光學系統、大樣品室和五軸馬達驅動樣品台、二次電子探測器、4QBSD（背散射電子）探測器、數字圖像存儲與處理功能。