複合電漿法

複合電漿法，則是指將直流電弧電漿法和高頻電漿法合為一體。它在產生直流電弧時不需電極，避免了由於電極物質熔化或蒸發而在反應產物中引入物質; 同時，直流電漿電弧束又能有效地防止高頻等離子火焰受原料的進入造成的干擾，從而在提高產物純度、製備效率的同時提高了系統的穩定性。

高頻電漿法的主要缺點是能量利用率低，產物質量穩定性較差。複合電漿法則是將前兩種方法合為一體。它在產生直流電弧時不需電極，避免了由於電極物質熔化或蒸發而在反應產物中引人雜質; 同時，直流電漿電弧束又能有效地防止高頻等離子火焰受原料的進人造成的干擾，從而在提高產物純度、製備效率的同時提高了系統的穩定性。