表面水平感測系統

用於測定晶圓表面位置的系統稱為表面水平感測系統（leveling system），其基本結構如圖1所示。

基本介紹

• 中文名：表面水平感測系統
• 外文名：leveling system

晶圓表面位置的測量一般分成兩步。首先是整個晶圓水平度的測量，系統在晶圓表面選擇3個點，測量出晶圓表面的位置。它們的平均值就確定為晶圓表面的平均位置，表面水平感測系統根據這個平均位置來調整工作點設定。曝光之前，對每一個曝光區域還要做表面位置測量和調整。由於曝光是掃描式的，曝光區域內的表面位置的測量和修正不能是靜態的。一般的做法是對曝光區域先做表面位置的掃描測量，然後再做掃描曝光。