螢光輝度

螢光輝度，測量包含排列在具有大致平面的基板上的螢光物質的微小點的輝度，其特徵在於：包含第1攝像步驟，照射可激勵所述螢光物質的波長的光，取得包含螢光物質的微小點的圖像。

螢光輝度

測量包含排列在具有大致平面的基板上的螢光物質的微小點的輝度，其特徵在於：包含第1攝像步驟，照射可激勵所述螢光物質的波長的光，取得包含螢光物質的微小點的圖像，作為第1圖像；第2攝像步驟，通過照射不激勵所述螢光物質的波長的光，取得附在所述基板上的異物的圖像，作為第2圖像；抽取步驟，從該第2圖像中抽取異物區域，得到2值化圖像；和異物去除步驟，將該2值化圖像作為掩膜，將所述第1圖像中與異物區域重合的部分的圖像無效。