蝕坑

蝕坑，半導體矽材料表面的一種微缺陷。呈三角形。

基本介紹

• 中文名：蝕坑
• 類別：專業名詞
• 相關領域：半導體矽
• 相關學科：生產工藝

概述

蝕坑
半導體矽材料表面的一種微缺陷。

相關

蝕坑
是矽拋光在-100度高溫處理後，再用化學腐蝕在表面出現的高密度腐蝕坑，使光滑的表面變成霧狀，因此得名。