基本介紹
- 書名:薄膜生長
- 作者:吳自勤、王兵、孫霞著
- ISBN:10位[7030091523]13位[9787030091529]
- 定價:¥28.00元
- 出版社:科學出版社
- 出版時間:2001-9-1
第五至七章主要介紹薄膜中的缺陷和擴散,第八、九章主要介紹薄膜生長的三種模式和成核長大動力學。第十至十三章主要介紹金屬薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜的生長和...
薄膜材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。電子半導體功能器件和光學鍍膜是薄膜技術的主要套用。薄膜的生長是半導體製造中一項重要的工藝。薄膜生長...
逐層生長是指外來原子在基底表面上沉積時,只有在第一層完全形成後才開始第二層的沉積。顯然在形成第一層需膜時,涉及的是沉積物在異質表面上的成核、遷移擴散。...
《薄膜材料與薄膜技術(第二版)》是化學工業出版社出版的圖書,作者是鄭偉濤。...... 薄膜的化學製備和物理氣相沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表征,對目前廣...
薄膜及微細加工技術的套用範圍極為廣泛,涉及高新技術產業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎、薄膜製備、微細加工、薄膜材料及套用等4大部分,涉及薄膜技術與薄膜...
《薄膜技術與薄膜材料》是2006年8月1日清華大學出版社出版的圖書,作者是田民波。本書講述了薄膜及微細加工技術的套用範圍及真空技術基礎等知識。...
薄膜按其晶體結構,有單晶、多晶、非晶薄膜之分。單晶薄膜需要在單晶基板上通過外延(epitaxy)的方法才能做出。藉由外延生長的薄膜稱為外延膜。單晶薄膜製備技術通常指...
透明導電薄膜是一種既能導電又在可見光範圍內具有高透明率的一種薄膜,主要有金屬膜系、氧化物膜系、其他化合物膜系、高分子膜系、複合膜系等。金屬膜系導電性能...
金屬表面外延生長是指在較低覆蓋度下,外來金屬原子在基底金屬表面上沉積時,一般會形成有序(1×1)結構的覆蓋層,這意味著基底作為模板對沉積物的生長模式有重要影響...
顧而丹教授和研究梯隊主要從事薄膜生長,薄膜物理性質和薄膜器件等方面的研究。研究梯隊由多名具有不同學術背景和研究經驗的教授和副教授組成。為進一步推動薄膜器件的...
其中1994年1月至1995年1月在英國Reading University的J J Thomson物理實驗室,作為訪問學者從事超薄膜生長特性的研究;1998年7月至1999年6月作為國際理論物理中心TRIL...
這一研究確立了用常規工藝生長的GaN器件的電學輸運機制的弱點來自於界面簡併層,薄膜生長及熱處理時的高溫所導致的原子擴散正是簡併層的成因。結果在APL 和JAP發表...
長期從事超薄膜材料和納米結構的製備、表征及其物理性能研究。開展了GaAs半導體薄膜、InAs/GaAs量子阱(點)、寬禁帶半導體GaN薄膜生長動力學研究,發展完善了III-V族...
石旺舟教授1994年畢業於中國科學院固體物理研究所,獲得理學博士學位,畢業後留所工作,承擔國家攻關課題:高溫超導薄膜的超導電性的研究,在高溫超導薄膜的外延生長的研究...
薄膜生長微觀機制的原子水平上研究:主要研究低能粒子與表面的相互作用,在原子水平上揭示低能粒子所產生的薄膜表面微觀過程的變化及其演化規律對表面原子的遷移和成核...