自動靈敏度控制，優點是高檢測靈敏度，高產量輸出，原理是衍射光和散射光。
基本介紹
- 中文名：自動靈敏度控制
- 外文名：Automatic sensitivity control
- 研發國：日本
- 優點：高檢測靈敏度，高產量輸出
- 原理：衍射光和散射光
- 用途：檢測
- 研發公司：NikonInstech
電路圖,自動速度控制,產品,相關研究,
電路圖
自動靈敏度控制電路。
自動靈敏度控制
自動靈敏度控制自動速度控制
二級系統根據來料參數，選擇軋制規範，通過數學模型進行設定計算，得到各架出口帶鋼線速度；考慮前後滑動後，得到各機架工作輥線速度的設定值。設定值是本卷鋼軋制過程中此工作輥運行速度的最高值。一級TDC 根據二級自動速度控制信號、一級速度控制信號控制軋機區主令速度ZLs的大小，乘以設定值得到實時速度設定值，並考慮厚調、張力控制環節的速度調節量後，進行參數轉化得到實時速度給定值，傳送給6RA70，完成軋機區速度控制。6RA70接收速度給定值控制電機轉速，並將電機實際參數反饋給一級TDC，再傳送到二級HMI進行 生產過程監控。
產品
傳統上，已開發出了的人工檢測儀器總是會受到各個地方人為因素的困擾。在一個人工檢查的環路中，檢測可能有相互矛盾的地方，在不同的操作員之間的檢測結果可能會有顯著的差異。這裡就存在一個挑戰。這個挑戰在於：人的肉眼很難檢測到小於110nm的缺陷；圖像數據又不能貯存；輸出產量/成本方面的考慮僅能採取隨機抽樣來檢測，這些都會使問題複雜化，也會耽擱給產品製造人員重要的信息反饋。
日本NikonInstech公司已經開發了一種自動的宏檢測系統-AMI-3000，解決了現有系統所面臨的幾個問題。其中之一是能見度不足的問題。通常，視覺宏檢測系統使用的是衍射光而不是反射光，這就使得它們經常出現色度和亮度不均勻之類的缺陷問題。但當圖形間距為0.1um或更小時，圖形不能給操作員提供足夠的衍射光。當引入薄膜塗層後，其它因素就會開始起作用。感光膠圖形的微小的變化以前並不影響實際的圖形，但它卻常常顯示成是一個缺陷。新平台所解決的另一個問題是它能指出管理流程圖中的某些限制，這種管理流程圖受圖形最小化和高集成度的影響。
一般來說，傳統的薄膜厚度和CD測量工具要求根據經驗規則上進行抽樣和單點檢測。然而，它們不能檢測程式檢測區域之外要檢測的缺陷。而且，傳統的自動顯微鏡缺陷檢測系統是根據單位成本和輸出產量所制定的抽樣檢測計畫來進行檢測的。所以，未被抽樣的晶片上的缺陷就發現不了了。
Nikon系統是根據以下三個概念開發出來的檢測系統：它應該是一種的宏檢測系統；它應該是一種的檢測系統，能對每一片晶片的整個表面進行檢測；它應該能根據相同參考標準進行量化檢測並給出檢測結果的檢測系統。檢測靈敏度是使用來實現的。在散射光檢測方式下，能提供暗場檢測，有95%的缺陷捕捉率。在衍射光模式下有80%的缺陷捕捉率。
相關研究
無功電壓最佳化控制的重要意義，電力系統電壓無功控制問題的發展現狀及基本數學模型，對現有的套用於電力系統電壓無功控制的各種最佳化算法進行了綜述，並分析了各種最佳化算法及數學模型的結構特點和適用範圍。結合自動電壓控制方法在實際系統中的成功套用經驗，考慮實時分析的速度與精度要求，一種基於線性靈敏度分析的自動電壓控制方法。
