總指示讀數是指與基準平面平行的兩個平面之間的最小垂直距離。該兩平面包括晶片正表面合格質量區內或規定的局部區域內的所有的點。
| 中文名稱 | 總指示讀數 |
| 英文名稱 | total indicator reading，TIR |
| 定 義 | 與基準平面平行的兩個平面之間的最小垂直距離。該兩平面包括晶片正表面合格質量區內或規定的局部區域內的所有的點。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
套用學科：材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）
