局部平整度

局部平整度是在合格質量區內,一個局部區域的總指示讀數的最大值。

中文名稱局部平整度
英文名稱site flatness
定  義在合格質量區內,一個局部區域的總指示讀數的最大值。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)
  • 套用學科
  • 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)

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