平整度測試儀

平整度測試系統，採用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特徵，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可線上和離線測量。

基本介紹

• 中文名：平整度測試儀
• 測量方法：光學方法
• 測量物件：晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等
• 重複性精度：0.01um 

儀器特點

■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；

■無接觸測量；

■無需校準；

■高精度、高重複性；

■樣品台可選：4寸、6寸、8寸；

■強大的分析軟體，可顯示3D表面形貌；

■同時進行各種參數的測量，具備超高的測試速度；

部分技術指標

■TTV

■精確度：±0.1um

■重複性精度：0.01um

■厚度

■精確度：±0.2um

■重複性精度：0.1um

■測試範圍：50-2000um

■翹曲度/彎曲度

■精確度：0.5um

■重複性精度：0.2um

■測試範圍：200um

■整機參數

■測量時間：<100秒

■最大測量尺寸：8寸

■尺寸：550*602*291mm

■整機功率：800W