空間像測量系統

空間像測量系統是在與曝光類似的條件下分析掩模的性能，其中的CCD相機所接收到的像與曝光時晶圓接收到的像類似。

基本介紹

• 中文名：空間像測量系統
• 外文名：aerial image measurement system（AIMS）

與其他掩模缺陷檢測設備相比，空間像測量系統具有較高的解析度，常用於檢查掩模上光學鄰近效應修正（OPC）圖形的質量，還可用於測量掩模修補區域的透射率。在空間像測量系統探測到的缺陷中很少出現探測系統在信號處理中產生的缺陷，而非真正的掩模缺陷。由於AIMS探測缺陷的原理是基於掩模的成像，所以無法探測位於不透明的Cr或MoSi圖形上的小顆粒。在掩模成像時，這些小顆粒被不透光的Cr或MoSi阻擋，無法成像。AIMS最大的優點是它探測出來的掩模缺陷都是能在晶圓表面成像的。