空間像

空間像是光線從光源發出通過投影系統在光刻膠上所形成光強分布的圖像。使用仿真軟體可以計算出不同極化照明下的空間像(aerial image)。

基本介紹

• 中文名：空間像
• 外文名：Aerial Image

圖 1是一個仿真計算的結果。高分辨的掩模版(如用於 NA>1.0 的 193i 曝光的掩模)製備完成後，必須做缺陷檢查。有些缺陷對掩模曝光性能的影響很難直觀地判斷，必須藉助於空間像測量系統(aerial image measurement system， AIMS)。 AIMS 可以把掩模缺陷區域的像投影在 CCD 相機上，使得工程師能直觀地看到缺陷對成像的影響。空間像顯微鏡的結構如圖 2所示。

圖1 空間像

圖2 掩模空間像顯微鏡(AIMS)結構示意圖