礦物電鏡分析法是運用電子顯微鏡分析礦物的形貌、結構和化學成分的方法。電子顯微鏡是利用電子光學原理製成的一種顯微鏡，當電子槍發射的高速電子流與礦物樣品相遇時，一部分透過樣品，另一部分與樣品的原子核相碰撞，電子將發生彈性散射，如與軌道電子碰撞時，則發生非彈性散射。由於物體不同部位的結構不同，透過它們的電子束將有疏密之別，因而形成質厚襯度(或反差)。
電子流穿過晶體時也將發生衍射作用，因此可形成衍射襯度。如透射電子波與衍射波相互干涉，將產生相位襯度，這種圖像僅在薄晶樣品的條件下才能觀察到。電子束轟擊樣品表面所反射的二次電子，經收集、放大、成像，即成為二次電子圖像——掃描形貌像。礦物的電鏡分析包括掃描電鏡和透射電鏡的研究，除給出掃描形貌像外，還有透射形貌像(質厚襯像)、衍襯像、相位襯度像(晶格像)等，因而能提供有關礦物形貌、結構方面的信息。電子顯微鏡已廣泛用於研究礦物形貌與環境的關係以及礦物的顯微結構(出溶、相變、雙晶、晶體缺陷等)，因此也可用來研究礦物在加熱、冷卻過程中的變化，從這個意義上說，電子顯微鏡可成為地質溫度計和壓力計。高分辨電子顯微技術可直接觀測晶體的結構，揭示長程無序、短程有序及多型結構的本質，因此，將成為礦物電鏡研究中的重要發展方向之一。
