研磨拋光材料

研磨拋光材料 集成電 路、半導體器件中最重要的基礎材料是矽片、矽片表面狀況直 接影響積體電路及器件的質量、成品率，加I.矽片表面的材料 稱作研磨拋光材料。‘臼包括磨料、磨液、拋光液等。