《矽微機械加工技術》是2007年化學工業出版社出版的圖書，作者是埃爾溫斯波克。
基本介紹
- 書名：矽微機械加工技術
- 作者：埃爾溫斯波克
- 譯者：胡真
- ISBN：9787502592585
- 定價： 58.00 元
- 出版社：化學工業出版社
- 出版時間： 2007年05月
- 開本：16開
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
英國劍橋大學出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本關於微系統加工工藝方面的專著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人從事過多年微系統加工工藝方面的研究工作，具有非常豐富的研究經驗。本書的主要內容包括：（1）矽的濕法腐蝕工藝及其物理機制的描述；（2）矽的表面微機械加工技術；（3）LIGA工藝；（4）矽——矽直接鍵合工藝；（5）矽的乾法腐蝕工藝及物理機制等，涵蓋了微機械系統加工工藝中的主要內容，而且其內容經過多次修訂，並在法國和英國等大學試用。本書基本概念清楚，具有一定參考價值，適合MEMS領域工程技術人員、研究生和高年級本科生閱讀和使用。
圖書目錄
1 簡介
2 各向異性濕去腐蝕
3 濕法化學腐蝕的化學物理機制
4 矽片鍵合
5 實例和套用
6 表面微機械加工
……
