矽基光波導的製備工藝最佳化虛擬仿真實驗

矽基光波導的製備工藝最佳化虛擬仿真實驗是內蒙古大學建設的虛擬仿真實驗課程。

基本介紹

• 中文名：矽基光波導的製備工藝最佳化虛擬仿真實驗
• 建設院校： 內蒙古大學
• 授課教師：楊玉星、白曉磊、朱俊、李天天
• 課程負責人： 樊國梁

課程性質

課程背景

矽基光波導的製備工藝最佳化虛擬仿真實驗以“學生為中心,產出導向,培養一流前沿性產業人才 ”為教學理念,堅持‘能實不虛、優勢互補”的原則,解決學生在《固體電子器件A》、《光波導原理與器件》 、《半 導體物理》等課程的知識點無法在具體生產實踐中套用,科研實驗室對周圍環境以及設備要求苛刻,儀器設備體積龐大且價格昂貴,極多種危險性(如:氫氣、烷氣、六氟化硫、氯氣等)的特種氣體,本科生無法進入科研實驗室開展專業實驗訓練的困境。本虛擬仿真實驗旨在解決當前高等學校所面臨的這一共性難題,升工科類學生在工程技術與實踐方面的創新學習能力,感受大國工匠精神,培養卓越工程師意識。

教學目標

《固體電子 器件A》、《光波導原理 與器件》是我校電子科學與技術專業的主幹課程,要求學生 掌握包括矽基光電子器件的基本結構和設計原理、加工製備方法,並能正確的驗證所設計器件的光電性能。本實驗要求學生通過虛擬仿真實驗了解實驗原理、儀器構造，掌握實驗過程、 實驗現象及參數,學會在不同情境中套用所學知識進行創新設計,根據得到的不同結果學會最佳化實驗參數、根據需求創新實驗方法,達到培養-流前沿性產業人才相標 ,通過本實驗,達到以下實驗目的:

1、使學生感受大國工匠精神,培養卓越工程師意識;

2、使學生熟悉半導體材料、矽基光波導的基本結構和工作原理;

3、使學生熟悉微納集成器件的製造設備結構以及基本操作; .

4、使學生掌握光波導器件的主流設計思路以及加工工藝流程;

5、使學生掌握光波導的關鍵製備工藝原理及最佳化工藝參數的方法;

6、使學生掌握光波導器件的測試方法,具備集成光路、 晶片製備的知識儲備和實驗能力。