矽單晶電阻率的測定直排四探針法和直流兩探針法

國家標準《矽單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法》 由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）歸口，TC203SC2（全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會）執行 ，主管部門為國家標準化管理委員會。

2021年5月21日，《矽單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2021年12月1日實施 。

基本介紹

• 中文名：矽單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法
• 頒布時間：2021年5月21日
• 實施時間：2021年12月1日
• 發布單位：國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會

修訂信息

2021年5月21日，《矽單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2021年12月1日實施 。

起草工作

主要起草單位 中國電子科技集團公司第四十六研究所 、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司 、有研半導體材料有限公司 、廣州市昆德科技有限公司 、青海芯測科技有限公司 、浙江海納半導體有限公司 、樂山市產品質量監督檢驗所 、中國計量科學研究院 、亞洲矽業（青海）股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、開化縣檢驗檢測研究院 、南京國盛電子有限公司 、青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司 、義烏力邁新材料有限公司 。

主要起草人 劉立娜 、劉兆楓 、何烜坤 、劉剛 、楊素心 、孫燕 、高英 、王昕 、梁洪 、潘金平 、樓春蘭 、宗冰 、李慎重 、潘文賓 、蔡麗艷 、王志強 、皮坤林 。