真空滲氮

真空滲氮工藝指向真空爐中通入氨氣，可對工件進行真空滲氮，其方式類似於脈衝式真空滲碳，即工件裝人真空爐後開始抽氣，當真空度達到設定值後，爐子通電升溫，同時抽真空，以保持爐子的真空度。爐溫達到滲氮溫度時，保溫一段時間，其作用是淨化工件表面和透燒。其後停止抽真空並向爐內通人滲氮氣體，使爐壓升高至一定值，保持一段時間，之後再抽真空並保持段時間，再通入滲氮氣體; 如此，反覆進行多次，直到滲氮層深達到要求為止。在此全過程中爐溫保持不變。

例如，使用如下圖所示裝置，對38CrMoAI、3Cr2W8V 鋼製試件進行了真空滲氮。試件裝爐後首先將爐子抽真空至1.33Pa,升溫至530℃或550℃滲氮溫度，保溫30min,以淨化試件表面和透燒。之後關閉真空泵並向爐子內通人氨氣，壓力達0.4~0.6MPa,保持段時間，再抽真空至1.33Pa；此後交替進行“通氨-抽真空”，直至滲氮層深度達到要求，再爐冷至300℃出爐。

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