一個真空系統，經相當長時間抽氣之後，仍然達不到預期的真空度，可能的原因有：抽氣情況不良，即抽氣系統本身的問題。放氣，即真空系統或容器內部存在氣體或氣源。漏氣，即真空系統或被抽容器存在漏孔或縫隙。至於漏氣是檢漏技術所要解決的問題，即準確檢出漏孔並加以修補。常規檢漏內容包括：用適當的方法判斷真空系統中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位，以便修補堵漏。
基本介紹
- 中文名：真空檢漏技術
- 直線A：壓強不隨時間變化
- 直線B：壓強開始上升很快
- 直線C：是一斜率為ΔP/Δt的直線
漏氣判定,表示方法,最大估算,檢漏方法,相關資料,
漏氣判定
如何判斷真空系統是否存在漏氣，通常採用靜態升壓法，即把容器抽到一定壓強後，關閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線。由於容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同
1.直線A
壓強不隨時間變化，說明系統即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強開始上升很快，而後上升速度漸漸減慢而趨於平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向於平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強上升較快，而後漸漸減慢，最後變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認為是B和C的疊加。如果出現曲線C和D的情況，則判定系統有漏氣。
表示方法
有漏氣必有漏孔，真空技術中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形狀各不相同，漏氣路徑也各式各樣。漏孔常出現在焊縫搭頭、應力集中、彎折、拆卸等部位，一般是由於焊接、表面不清潔、工藝規範不當、結構不合理、安裝不仔細等原因造成。
漏孔的幾何尺寸很小，肉眼不能察覺，加之漏氣路徑各式各樣，截面形狀又很複雜，所以漏孔的大小極難用其幾何尺寸來度量，在真空技術中漏孔的大小有專門的表示。
由氣體定律PV=M Rt/μ可知，當溫度一定時，氣體的質量M可以用氣體的壓強和體積的乘積PV（即氣體量）來表示，而PV又是容易測量的，所以漏孔的大小可以用單位時間漏入系統的氣體量（PV）來表示，亦稱漏率。其物理意義為壓強×體積/時間。漏率的國際單位為“瓦特”（W）或帕·立方米/秒（Pa·m3/s）。
漏孔的漏率也就是通過漏孔的氣體流量，這個氣體流量受環境溫度、漏孔兩端的壓差和氣體種類等因素的影響。因此為了客觀地反映漏孔的大小，就必須考慮到上述三個因素。一般為了設計、計算和運用方便起見，將漏孔的漏率定義為：在環境溫度23℃條件下，漏孔的一端為一個標準大氣壓，而另一端為真空狀態時，單位時間內流過漏孔的空氣的氣體量。
最大估算
一個真空系統（或容器）要求做到絕對不漏氣是不現實的，也是沒有必要的，所以就要根據真空系統實際套用的具體條件，對漏率指標提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強低於真空系統工作所需的壓強，這些漏孔就是允許的。真空系統正常工作所能允許的做大漏氣量，稱最大允許漏率，簡稱允許漏率。此值不僅是設計真空系統的一項主要指標，也是檢漏的依據。
如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設計合理的前提下。最大允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統所允許的總漏率也不同。
1.動態系統
即邊抽邊工作的真空系統。通常的真空泵、真空設備都屬於這一類。這種系統是利用一定抽速的泵來獲得和維持真空，即使系統存在較大的漏孔也可以達到所要求的真空度，因此對氣密性和放氣的要求相應降低。顯然，這種系統一旦與泵隔開，真空度會急劇下降。對於這種系統，容許的最大氣載可以用氣體流量恆定關係來獲得。
當系統達到動態平衡時，單位時間進入系統空間的氣量必然等於被泵抽走的氣量。此時的平衡壓強就是系統所能達到的極限壓強P0，即Q=S有效·P，其中Q=Q放+Q漏。因此，所允許的最大氣載Q總≤S有效·P。在結構材料合理的情況下，一般取Q漏0.1Q總≤0.1S有效·P。又因為S有效=（SP·C）（/SP+C），式中SP、C分別為泵的抽速和導管的流導。將其代入計算得：Q漏≤[0.1P（0SP·C）]（/SP+C）。
2.靜態系統
密封容器達到一定真空度後與真空泵隔開。通常的電真空器件、真空容器都屬於該類系統。
設器件封離真空系統的壓強為P0，器件能夠正常工作的最高壓強為Pt，器件能保存和正常工作的時間為（t使用壽命）。那么，所允許的總氣載（漏氣和放氣）是：Q總≤（[Pt-P0）V]/t，其中V表示器件的體積。所允許的最大漏率為：Q漏=0.1Q總≤[0.1V（PtP0）]/t。
檢漏方法
由於真空系統的多樣性，因此檢漏方法也各式各樣，專業廠家也設計製造了許多專門用於檢漏的儀器（檢漏儀）。
1.對檢漏方法的一般要求
（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；
（2）反應時間短，可以提高工作效率；
（3）能定位、定量，即不僅能夠找出漏孔的位置，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；
（4）能無損檢漏，不使被檢設備受到損壞和污染；
（5）穩定性好，即保證足夠長時間內靈敏度穩定可靠；
（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低、無毒、不腐蝕零件；
（7）檢漏範圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測，以減少檢漏設備的數量和費用；
（8）檢漏時應潔淨無油，滿足一些特殊要求。
2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由於一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高於允許漏率1～2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；
（2）根據具體被檢對象，所用方法簡便易行、經濟實用。
3.檢漏方法的分類
按被檢容器所處的狀態可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。
（1）加壓檢漏法。在被檢容器內充入一定壓力的氣體（稱試驗氣體或者探漏氣體）或液體，當容器上存在漏孔時，氣體（或液體）便從漏孔中逸出，從哪裡逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬於此類檢漏方法有：
水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2～3個大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現，根據水珠出現的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小。
氣壓法：將試驗氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有：聲響、火焰、氣泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨檢漏法；鹵素檢漏儀和氨質譜儀吸嘴法和放射性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產生正離子發射（主要是鹼金屬離子），這種發射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據這個現象可以製成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。
鉑的離子發射現象被設定在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結構，加熱絲、陽極及不鏽鋼陰極組成一間熱式二極體，後部安裝吸氣風扇，使用時不斷吸進氣體，工作時二極體的陽極由燈絲加熱到850～950℃，陰極對陽極加有250V負電壓並收集正離子，離子電流由電子電路放大後，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示，儀表還設有揚聲器，當探
出漏孔時，儀器便發出聲音。
示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂無毒、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛套用。檢漏時，鹵素氣體充於被檢件內，用外探頭在外部
尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業產品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。
（2）真空檢漏法。將被檢容器內部抽空後，再把試驗物質施於容器外表可疑位置。如有漏孔，試驗物質便通過漏孔
進入容器，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小。屬於此類的方法有：靜態升壓法；放電管法；真空計法；氫-鈀法；離子泵法；高頻火花檢漏法；鹵素檢漏法；質譜檢漏法。其中離子泵檢漏法是，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統真空度的高低，因此，類似於電離真空計的方法，用離子泵的電流指示可對系統或被抽容器進行檢漏。這也是一種既簡單又靈敏的檢漏方法。
相關資料
實用真空檢漏技術
內容簡介
本書是作者在幾十年的真空檢漏技術工程經驗以及培訓教學基礎上,結合近幾年出現的新技術、新成果綜合編寫成的。內容豐富、技術先進。
全書共分7章，其中包括：檢漏的一般概念、檢漏的真空基礎、常用的檢漏方法、標準漏孔及其校準等。重點介紹了氦質譜檢漏儀法和四極質譜計檢漏法，並給出了套用實例。
本書主要為廣大真空檢漏技術人員提供服務，亦可作為真空檢漏培訓班教材使用，並為大專院校師生提供重要參考。
圖書目錄
第1章 檢漏的一般概念
1檢漏技術的地位和套用
2檢漏技術的主要術語
3壓力與漏率關係
3.1動態真空
3.2靜態真空
1.4檢漏的任務
1.41真空抽不好的原因
1.42不能保持壓力的原因
1.43檢漏的任務
