直流三極濺射，採用直流電源，在二極濺射的基礎上，增加一個發射熱電子的熱陰極，形成直流三極的濺射鍍膜方法。若再另設一電子收集極，則為四極濺射鍍膜。
基本介紹
- 中文名：直流三極濺射
- 所屬學科：物理
直流三極濺射
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- 鋁靶材
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