環氧光刻膠

環氧光刻膠，這種光刻膠的對比度對可以通過調節環氧與酚醛基團之間的比例來改變。

環氧光刻膠的基本工作機理是首先酸激發的聚合反應，圖1（a）是這一聚合反應的方程式。在曝光區域，光致酸產生劑在光子的作用下產生酸；環氧分子在酸的作用下聚合形成聚合物。然後環氧分子與酚醛反應，形成交聯，圖1（b）是這一聚合反應的方程式。注意酚醛可以和帶有正電荷的環氧分子發生反應，反應方程（b）只是一個例子。交聯後，光刻膠不溶於顯影液，所以光刻膠表現為負膠。