環化光刻膠

環化光刻膠是化學術語。

基本介紹

  • 中文名:環化光刻膠
  • 外文名:cy-clixed resi
環化光刻膠、又稱環化橡膠型光致抗蝕劑一系由環化大然橡膠、增感hll(或稱交聯劑,如對疊氮型化合物)、光敏劑,以適當溶3}I,<}L制而成。有較好的抗蝕性能,叮用於光刻多種金屬如鉻、翎、鋁、鎳一鉻以及矽、硫化鉛、銻化錮等,也可用於多種電路光刻工藝、積體電路以及紅外元件低溫光刻。

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們