王躍林(中科院上海微系統與信息技術研究所副所長)

王躍林，男，1959年，江西省南昌人，1982年在浙江大學獲學士學位，1985年在哈爾濱工業大學獲碩士學位，1989年在清華大學獲博士學位。1985年8月到1998年1月在浙江大學信電系工作，1995和1996年曾應邀分別到香港科技大學和日本東北大學訪問研究一年，1998年通過中國科學院“百人計畫”到上海冶金研究所任研究員主持微機械研究工作，歷任中科院上海微系統與信息技術研究所研究員、博導、室副主任、主任，1999年10月起任上海微系統所所長助理。2003年6月起兼任上海微系統所學術委員會主任。2003年3月任上海市政協委員、長寧區政協副主席。2009年4月起任上海微系統所副所長。

基本介紹

• 中文名：王躍林
• 國籍：中國
• 出生地：江西省南昌
• 出生日期：1959年
• 職業：中科院上海微系統與信息技術研究所副所長

獲得榮譽

1999年被科技部聘為973項目“集成微光機電系統研究”首席科學家，2004年7月入選首批“新世紀百千萬人才工程”國家級人選。2005年度再次被科技部聘為973項目“BNI融合的微納感測器及其系統基礎研究”的首席科學家。

1987年他在國際上較早開展了將矽/矽鍵合技術套用到壓力感測器的研究工作，獨立提出了與IC工藝兼容的壓力感測器新技術“矽盒技術”，為感測器的製造提供了全新的加工手段，奠定了矽/矽鍵合技術在微機械的重要地位，國際上這類綜述性文章幾乎都要引用他的成果，直到1998年還被 Proceedings of The IEEE引用；隨後利用矽/矽鍵合技術進一步研製出了矽一體化微機械諧振器，國際在線上檢索表明，這一成果屬首次報導；還研製了力平衡真空感測器、加速度計及微機械陀螺，其中力平衡真空感測器是全新原理的真空感測器，被邀請發表在1998年8月出版的Proceedings of The IEEE微機械特集上。