物理汽相澱積（physical vapor deposition）是1993年公布的電子學名詞。
基本介紹
- 中文名：物理氣相沉積
- 外文名：physical vapor deposition
- 所屬學科：電子學
- 公布時間：1993年
公布時間,出處,
公布時間
1993年，經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。
出處
《電子學名詞》第一版。
物理汽相澱積
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