矽積體電路工藝基礎第二版

《矽積體電路工藝基礎第二版》是2014年北京大學出版社出版的圖書。

基本介紹

• 中文名：矽積體電路工藝基礎第二版
• 作者：關旭東
• 出版社：北京大學出版社
• 出版時間：2014年5月1日
• 開本：16 開
• 裝幀：平裝
• ISBN：9787301241097

內容簡介

本書是《矽積體電路工藝基礎》的第二版教材，作者在第一版的基礎上系統的講述了矽積體電路製造的基礎工藝，加深了工藝物理基礎和基本原理的介紹。增加了工藝集成例子的介紹。

圖書目錄

第一章 矽晶體和非晶體

第二章 氧化

第三章 擴散

第四章 離子注入

第五章 物理氣相澱積

第六章 化學氣相澱積

第七章 外延

第八章 光刻工藝

第九章 金屬化與多層互聯

第十章 工藝集成

第十一章 薄膜電晶體製造工藝

作者簡介

關旭東，北京大學信息學院微電子系 職稱：教授 研究方向：矽積體電路的設計和規劃 主要作品：矽積體電路工藝基礎。