火焰射流反應沉積

火焰射流反應沉積，又稱火焰法。在火焰射流中進行化學反應以製取表面覆蓋層的工藝方法。它在分類上應歸入熱化學氣相沉積(TCVD)。

基本介紹

• 中文名：火焰射流反應沉積
• 外文名：flame jet reaction deposition
• 學科：材料工程
• 領域：工程技術

簡介

火焰射流反應沉積，又稱火焰法。在火焰射流中進行化學反應以製取表面覆蓋層的工藝方法。它在分類上應歸入熱化學氣相沉積(TCVD)。

反應原理

火焰也是一種電漿，電子能量在0.05~1MeV範圍。

反應材料

火焰射流反應沉積是採用普通的氧-乙炔焊槍進行，反應氣體為氧和乙炔，二者體積比為0.85。基板採用矽片、鋁、硬質合金。

相關條件

沉積時的基板溫度保持在400~1000℃範圍內，但最佳溫度為800℃左右。金剛石膜的生長速率可高達150m/h以上，僅次於電弧電漿射流反應沉積。這種高的生長速率表明，在火焰射流中活性粒子濃度較高，同時也與該過程中氣流速度快，又能不斷將活性粒子迅速補充到基體表面的反應區有關。