潔淨氮氣管道，吸收量每噸可吸收大約200g的氣體，特點高純度、高潔淨。
基本介紹
- 中文名：潔淨氮氣管道
- 外文名：無
- 吸收量：每噸可吸收大約200g的氣體
- 特點：高純度、高潔淨
潔淨氮氣管道中所有高純度、高潔淨的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU)，為了達到儀器對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決於制氣或淨化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業原則，並註明管道材質
潔淨氮氣管道的材質則依使用的需求進行選擇，316L BA管常使用於和晶片接觸但不參與過程反應的氣體。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。
潔淨氮氣管道在不鏽鋼熔煉製材過程中，每噸可吸收大約200g的氣體。不鏽鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中，污染純淨氣體。當管內氣流為不連續流動時。
