潔淨廠房設計規範

潔淨廠房設計規範由中華人民共和國電子工業部主編，中華人民共和國國家計畫委員會批准。於1985年6月1日實施的條列，內容總共分為7七章。

最新規範由城鄉住建部標準定額研究所組織中國計畫出版社出版發行，自2013年9月1日起實施。

基本介紹

• 中文名：潔淨廠房設計規範
• 類別：條例
• 主編：中華人民共和國電子工業部
• 實施時間：2013年9月1日實施

內容

第一章 總則

第1．0．1 條潔淨廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、安全適用、確保質量，符合節約能源和環境保護的要求。

潔淨廠房設計規範

第1．0．2 條本規範適用於新建和改建、擴建的潔淨廠房設計，但不適用於以細菌為控制對象的生物潔淨室。本規範有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用於建築高度超過24米的高層潔淨廠房和地下潔淨廠房的設計。

第1．0．3 條在利用原有建築進行潔淨技術改造時，潔淨廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。

第1．0．4條潔淨廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和安全運行創造必要的條件。

第1．0．5條潔淨廠房設計除應按本規範執行外，尚應符合現行的國家標準、規範的有關要求。

第二章 空氣淨度等級

第2．0．1條 空氣潔淨度應按表2.0.1規定劃分為四個等級。

空氣潔淨度等級表2.0.1

等級	每立方米（每升）空氣中≥0.5微米塵粒數	每立方米（每升）空氣中≥5微米塵粒數
100級	≤35×100(3.5)	≤250(0.025)
1000級	≤35×1000(35)	≤2500(0.25)
10000級	≤35×10000(350)	≤25000(2.5)
100000級	≤35×100000(3500)	≤250000(25)

註：對於空氣潔淨度為100級的潔淨室內大於等於5微米塵粒的計算應進行多次採樣。當其多次出現時，方可認為該測試數值是可*的。

2．0．2條潔淨室空氣潔淨度等級的檢驗，應以動態條件下測試的塵粒數為依據。潔淨室空氣潔淨度的測試，應符合附錄二規定。

第三章 總體設計

第一節　潔淨廠房位置選擇和總平面布置

第二節　工藝布置和設計綜合協調

第三節　噪聲控制

第四節　振動控制

第四章 建築

第一節 一般規定

第二節 人員淨化和物料淨化設施

第三節 防火和疏散

第四節 室內裝修

第五章 空氣淨化

第一節　一般規定

第二節　潔淨室正壓控制

第三節　氣流組組織和送風量

第四節　空氣淨化處理

第五節　採暖通風

第六節　風管和附屬檔案

第六章 給水排水

第一節 一般規定

第二節 給水

第三節 排水

第四節 消防設施

第七章 工業氣體管道

第一節　一般規定

第7．1．1條工業氣體管道的乾管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應採取良好的通風措施。 引入潔淨的支管宜明敷。

第7．1．2條高純氣體管道設計，應符合下列要求：

一、根據計算確定管徑。

二、管道系統應儘量短。

三、不宜設預留口。

四、不應出現"盲管"等不易吹除的部位。

五、乾管不支管上應設定吹除口。

六、在管系統上應設定吹除口。

第7.1．3條穿過潔淨室牆壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應採取可*的密封措施。

第7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，並應設在防雷保護區內。

第7．1．5條氣體淨化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一計畫的要求進行選擇。氣體終端淨化裝置應設在*近用氣點處。

第7．1．6條氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。

第二節　管道材料、閥門和附屬檔案

第7．2．1條根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規定選用：

一、氣體純度大小或等於99.999%時，應採用不鏽鋼管。

二、氣體純度大於或等於99.99%時，宜採用不鏽鋼管、銅管、無縫鋼管。

三、氣體純度小於99.99%時，可採用無縫鋼管。

四、管道與設備的連線段，宜採用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜採用聚四氟乙烯管、聚乙

烯管、不得採用乳膠管。

第7．2．2條高純氣體管道應採用密封性能好的低門和附屬檔案，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、不鏽鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應採用聚四氟乙烯材料。

第7．2．3 高純氣體管道與附屬檔案連線的密封墊，應採用不鏽鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。

第三節　管道連線和清洗

第7．3．1條管道連線應採用焊接。高純氣體管道應採用承插焊。

第7．3．2條管道與設備、閥門的連線處，宜採用法蘭、螺紋或其它密封性能優良的連線件。螺紋處宜採用聚四氟乙烯帶密封。

第7．3．3條 高純性氣體管道內的內壁、閥門和附屬檔案在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。

第四節　安全技術

第7．4．1條 工業氣體管道設計的安全技術，應符合下列規定；

一、氫氣管道的支管和放散管上，應設定回火防止器。

二、氫氣和氧氣管道應設定導除靜電裝置。

三、各種氣體管道應設明顯標誌。

第7．4．2條潔淨室內使用氫氣時，宜在室內設定報警裝置。

第7．4．3條各種氣瓶應集中設定在潔淨廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設定在潔淨室內。

修改內容

2001年

關於發布國家標準《潔淨廠房設計規範》的通知

關於發布國家標準《潔淨廠房設計規範》的通知

關於發布國家標準《潔淨廠房設計規範》的通知

關於發布國家標準《潔淨廠房設計規範》的通知

建標[2001]231號

國務院各有關部門，各省、自治區建設廳，直轄市建委，計畫單列市建委，新疆生產建設兵團建設局，各有關協會：

根據國家計委“關於印發《一九九二年工程建設國家標準制訂、修訂計畫》的通知（計綜合[1992]490號）的要求，由信息產業部會同有關部門共同修訂的《潔淨廠房設計規範》，經有關部門會審，批准為國家標準，編號為GB50073-2001，自2002年1年1月起施行。其中，3.0.1、4.2.2、4.2.3、4.3.1、4.3.2（1款）、4.3.3（1、2、4、5款）、4.3.4（1款）、4.3.7、4.4.1、4.4.3、4.4.4、4.5.1、5.2.1、5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.1、5.3.2（1、2款）、5.3.3（1、2款）、5.3.5（1款）、5.3.7（1款）、5.3.10、6.1.4、6.1.5、6.2.1、6.2.2、6.2.4、6.3.1（1、3、4款）、6.3.2、6.3.3、6.4.1（1、2、3、4款）、6.5.1、6.5.2、6.5.3、6.5.4、6.5.5、6.5.6、6.5.7、6.6.2、6.6.4、6.6.6、7.2.2、7.3.1、7.3.2、7.3.3（1、4款）、7.4.1、7.4.2、7.4.3、7.4.4、7.4.5（2款）、8.1.1、8.1.3、8.1.5、8.1.9（2、3款）、8.4.1、8.4.2、8.4.3、8.4.4、8.4.5、9.2.2、9.2.3、9.2.6（1款）、9.2.7、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、9.5.4、9.5.5、9.5.6、9.5.7為強制性條文，必須嚴格執行。原國家標準《潔淨廠房設計規範》（GBJ73-84）同時廢止。

本規範由中華人民共和國信息產業部負責管理，中國電子設計院負責具體解釋工作，建設部標準定額研究所組織中國設計出版社出版發行。

中華人民共和國建設部

二○○一年十一月十三日