潔淨氣體管道

潔淨氣體管道中所有高純度、高潔淨的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU)，為了達到儀器對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決於制氣或淨化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響。

基本介紹

• 中文名：潔淨氣體管道
• 類型：氣體管道
• 對象：高純度、高潔淨的氣體
• 要求：粗糙度低

因此，管材的選取應恪守相關行業原則，並註明管道材質

潔淨氣體管路的材質則依使用的需求進行選擇，316L BA管常使用於和晶片接觸但不參與過程反應的氣體。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。

潔淨氣體管道在不鏽鋼熔煉製材過程中，每噸可吸收大約200g的氣體。不鏽鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中，污染純淨氣體。當管內氣流為不連續流動時，

管材對所通過的氣體形成壓力下吸附，氣流停止通過時，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純淨氣體中。同時，吸附、解析周而復始，使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純淨的氣體。管材的這一特性至關重要，為了確保輸送的氣體的純淨度，不僅要求管材內表面有一個極高的光滑度，而且，應當具有很高的耐磨特性。