氯氧化鉭氯氧化鉭(tantalic oxytrichloride) TaOCl3 Mr303.30。性質不如NbOCl3(氯氧化鈮)穩定,加熱時容易分解。可在584~753℃下用Ta2O5和TaCl5反應,或TaCl5的二乙基醚合物在真空中加熱至65℃,或TaCl5和Sb2O5在180~250℃和Cl2氣氛中反應製備。