氦氖鎵離子顯微鏡

氦氖鎵離子顯微鏡是一種用於地球科學領域的分析儀器，於2019年6月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：氦氖鎵離子顯微鏡
• 產地：美國
• 學科領域：地球科學
• 啟用日期：2019年6月25日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡

技術指標

氦離子顯微鏡：1、解析度：0.5 nm，2、加速電壓：10-40 kV，3、束流：0.1-100 pA。

主要功能

微納結構的高解析度成像及加工。