《檢測IC晶片內部高頻特性的聚合物電光薄膜電場感測器》是依託吉林大學，由衣茂斌擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：檢測IC晶片內部高頻特性的聚合物電光薄膜電場感測器
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：衣茂斌
- 依託單位：吉林大學
- 批准號：69876014
- 申請代碼：F0402
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
- 支持經費：13（萬元）
項目摘要
研製淺黃透明的聚合物電光薄膜，置於積體電路（IC）晶片的器件表面上做電場感測器：研究這類電場感測器的最佳結構和套用技巧；用0.67微米半導體雷射做探測光束，以亞微米空間解析度實現對高速IC晶片內部諸電路節點上的動態特性檢測。完成器件晶片正面入射式電光探測與顯微觀察系統的最佳設計與驗證。發展高速IC內部電路高頻參數測試與故障診斷技術。.
